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随着半导体顺件的不断发展，微波技术占据越来越重要的地位，我所引进的矢量网络分析仪及探针台对半导体睛Ｓ参数测试，避免了键合引线，管壳和夹具带来的误差，正确反映了芯片的性能，是一种重要测试手段，本文论述了测试原理和测试方法，并对实测数据比对与误差分析。
用矢量网络分析仪及探针台测试半导体芯片参数
【摘 要】
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随着半导体顺件的不断发展，微波技术占据越来越重要的地位，我所引进的矢量网络分析仪及探针台对半导体睛Ｓ参数测试，避免了键合引线，管壳和夹具带来的误差，正确反映了芯片的性能，是一
【机 构】
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电子工业部第十三研究所,电子工业部第十三研究所,050051,石家庄
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1997年1期
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