探索激励因素影响高校教师科研绩效的机理对于创新我国高校科研激励体制具有重要意义。通过703份高校教师的有效调查问卷,在EFA分析外在激励、内在激励和科研绩效的结构维度基础上,应用SEM的路径分析方法实证检验外在激励和内在激励分别对科研绩效的影响。EFA研究结果表明:外在激励包括薪酬激励、考核激励和晋升激励;内在激励包括创新激励、成就激励和社交激励;科研绩效包括过程绩效和结果绩效。路径分析研究发现:第一,薪酬、考核和成就的激励不影响过程绩效,而晋升、创新和社交的激励不仅影响而且能通过它进一步影响结果绩效。第二,通过晋升和社交的激励不能直接影响结果绩效,直接通过薪酬、考核、创新和成就的激励对结果绩效产生消极影响。第三,过程绩效(科研态度和行为)是激励因素能够真正发挥作用的中间变量和关键变量。上述成果对我国高校科研管理改革有一定的参考价值。