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期刊论文
LSIC版图场分割数据处理的研究
LSIC版图场分割数据处理的研究
来源 :山东大学学报(工学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:ytzhjx
【摘 要】
:
本文介绍了LSIC中版图场分割数据处理的方法,着重介绍了凹多边形版图场分割数据处理算法,并分析了一种凹多边形版图图形化为凸多边形图形集合的算法.
【作 者】
:
胡咏梅
贾磊
【机 构】
:
山东大学控制科学与工程学院
【出 处】
:
山东大学学报(工学版)
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
数据处理
电子束
软件/版图场分割
Data processing
Electron beam
Software for/Pattern field div
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本文介绍了LSIC中版图场分割数据处理的方法,着重介绍了凹多边形版图场分割数据处理算法,并分析了一种凹多边形版图图形化为凸多边形图形集合的算法.
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