【摘 要】
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利用WFZ—D4型紫外/可见分光光度计测量了超薄Al膜可见光吸收率与膜厚变化的关系.结果表明,在薄膜生长的不同厚度阶段具有不同的吸收特性,吸收率存在明显的尺寸效应.随着薄膜厚度
【机 构】
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中国科学院金属研究所!沈阳,110015,中国科学院金属研究所!沈阳,110015,中国科学院金属研究所!沈阳,110015
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利用WFZ—D4型紫外/可见分光光度计测量了超薄Al膜可见光吸收率与膜厚变化的关系.结果表明,在薄膜生长的不同厚度阶段具有不同的吸收特性,吸收率存在明显的尺寸效应.随着薄膜厚度减小,吸收率具有极大值.与直流电导率实验结果对比分析,结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因.
The relationship between visible light absorbance and film thickness of ultrathin Al film was measured by WFZ-D4 UV / Vis spectrophotometer. The results show that there are different absorption characteristics at different thickness stages of film growth, and there is obvious size effect of absorption rate.With the decrease of film thickness, the absorption rate has the maximum value.Compared with the experimental results of DC conductivity, the change of structure characteristics Is the main reason for the size effect of absorption rate.
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