双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pluto_jelly

【摘要】

：

基于双兀型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双兀型EMIF电路的薄膜集成制造方法.该方法可用于

【作者】

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张海鹏秦会斌徐振宇梁海珊

【机构】

：

杭州电子工业学院电子信息学院CAE研究所

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

双π型RF EMIF 薄膜集成制造法电磁干扰滤波器电路结构超微细加工技术 VLSI superfine processing technology EMI

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基于双兀型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双兀型EMIF电路的薄膜集成制造方法.该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理EMIF电路的应用需求,改善双兀型EMIF电路的信号处理性能,还可将其与VLSI一起片上集成.

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