工艺综合与响应表面法的应用

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【摘要】

：

工艺综合是一种自顶向下的工艺、器件设计方法.MOSPAD软件系统是基于工艺综合的思想开发的工艺与器件辅助设计工具.本文通过使用MOSPAD系统,对工艺改进中的实际问题采用工艺

【作者】

：

鲁勇张文俊郑期彤李成杨之廉

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2002年9期

【关键词】

：

工艺综合响应表面法 RSM 集成电路工艺窗口 MOSPAD系统 Calculations Computer aided design Computer ai

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工艺综合是一种自顶向下的工艺、器件设计方法.MOSPAD软件系统是基于工艺综合的思想开发的工艺与器件辅助设计工具.本文通过使用MOSPAD系统,对工艺改进中的实际问题采用工艺综合的方法,确定正确的工艺条件.在工艺综合系统中使用响应表面法加快其综合的速度,并利用响应表面模型以分析工艺窗口造成的灵敏度问题.

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