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为阐明加速电压对场发射扫描电子显微镜(FESEM)图像的影响,实验以4种典型材料为研究对象,比较了普通模式和电子束减速模式下不同加速电压的FESEM图像。结果表明:普通模式下,对低原子序数的样品进行FESEM表征时,宜选择较低的加速电压;对高原子序数样品或样品的内部相进行FESEM表征时,宜选择较高的加速电压。电子束减速模式在对不耐电子束的样品表征方面具有独特的优势。