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薄膜体声波谐振器调频工艺研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：acmi99

【作 者】

：

彭兴文  徐阳  杜波  张永川  司美菊  刘娅  何西良 

【出 处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2018年04期

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