气体在Si(111)面吸附的密度泛函研究

来源 :中国海洋大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：liufuru

【摘要】

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运用广义梯度密度泛函理论(GGA)的PBE方法结合周期平板模型,计算了SiCl4,SiHCl3,H2,HCl在Si(111)表面的垂直吸附能和吸附结构。发现SiCl4,SiHCl3和Si衬底表面原子间的吸附结

【作者】

：

张伟涛胡仰栋夏红卫庞泉德欧阳旭

【机构】

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中国海洋大学化学化工学院

【出处】

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中国海洋大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2009年S1期

【关键词】

：

SiCl4 SiHCl3 密度泛函吸附 SiCl4 SiHCl3 DFT adsorption

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运用广义梯度密度泛函理论(GGA)的PBE方法结合周期平板模型,计算了SiCl4,SiHCl3,H2,HCl在Si(111)表面的垂直吸附能和吸附结构。发现SiCl4,SiHCl3和Si衬底表面原子间的吸附结构不稳定,相比之下SiCl4,SiHCl3分子都容易吸附在凸起的Si原子上。衬底对SiHCl3的吸附能要大于对SiCl4的。SiCl4和SiHCl3分子断开1个Si Cl键后更容易吸附在Si(111)表面的悬挂键上。H2在Si(111)表面的2个位置的吸附能比较接近,HCl倾向于以H端吸附在电荷多的表

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