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采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）浸渍提拉法（基于组装的小型提拉装置）在普通玻璃片上制备出ZnO：Al（ZAO）薄膜，利用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、数字式四探针测试仪等检测手段分别对其进行了分析比较。结果表明：Al^3＋浓度为1．0％的ZAO薄膜表面最为致密均匀；随着退火温度的提高，薄膜的晶体平均粒径明显增大，电阻率逐渐减小；不同掺Al量的ZAO薄膜在可见光区的平均透光率均在70％以上，当Al^3＋浓度为1．5％时，550℃退火2h，电阻率最小，为5．9×10^-2Ω·cm。