【摘 要】
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为了优化设计金属有机[化合物]CVD反应室,以生长出高质量的GaN材料,对一种垂直喷淋式金属有机[化合物]CVD系统中生长GaN材料的生长过程进行了模拟.模拟结果表明,反应室中衬底
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院,西安电子科技大学微电子学院
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为了优化设计金属有机[化合物]CVD反应室,以生长出高质量的GaN材料,对一种垂直喷淋式金属有机[化合物]CVD系统中生长GaN材料的生长过程进行了模拟.模拟结果表明,反应室中衬底石墨基座的旋转速度和反应室的高度对GaN生长过程中的气相传输过程和材料质量均有影响.随着基座旋转速度的升高,反应室内部的流场分布趋向均匀,衬底表面的气体流速变快,GaN生长速率升高,并且厚度均匀性也变好,但是速度超过一定限度后会使生长速率降低;在同样的生长条件下,反应室的高度越高,反应室内部的流场分布越均匀,这有利于提高材料的均
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