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采用磁控溅射法制备出HA/YSZ/Ti6Al4V生物复合材料,利用X-射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱分析(EDXA)研究复合涂层的相组成、表面微观形貌和界面微观形貌,并用划痕仪测定复合涂层与基体的界面结合力.结果表明:溅射的复合涂层中主要含有HA、ZrO2和Y2O3物相,此外还有少量的TCP和CaO相;该复合涂层表面凹凸不平,呈现网状微孔结构,其孔隙直径约为0.5~2μm,孔隙面积占薄膜表面积的30%~40%.划痕试验表明,复合涂层与Ti6Al4V基体结合力约为80N.复合涂层拉伸试样横断