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对一种新型电镀工艺专用设备的性能、特点及结构设计进行了较详细的介绍。
镀层测厚装置结构设计
【摘 要】
：
对一种新型电镀工艺专用设备的性能、特点及结构设计进行了较详细的介绍。
【机 构】
：
电子工业部第二研究（太原030024）
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
：
1993年6期
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