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介绍了氮化铝（ＡｌＮ）陶瓷在微电子器件高可靠封装中的应用现状及前景。
AlN陶瓷封装的研究现状
【摘 要】
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介绍了氮化铝（ＡｌＮ）陶瓷在微电子器件高可靠封装中的应用现状及前景。
【机 构】
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信息产业部电子十三所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1999年02期
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