ZnO薄膜紫外光敏特性及晶界势垒的研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pengtao2222

【摘要】

：

以二水合醋酸锌为原料，采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。用AFM观察表面形貌，通过测量真空条件下不同温度热处理后薄膜的I-V特性，拟合计算晶界势垒高度。研究了热处理温

【作者】

：

何俊刚陈环王莉刘志宇傅刚

【机构】

：

广州大学物理与电子工程学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2009年12期

【关键词】

：

ZNO薄膜热处理温度紫外光灵敏度晶界势垒 ZnO thin film heat-treated temperatureUV sensitivity gra

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以二水合醋酸锌为原料，采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。用AFM观察表面形貌，通过测量真空条件下不同温度热处理后薄膜的I-V特性，拟合计算晶界势垒高度。研究了热处理温度对ZnO薄膜性能的影响。结果表明：经650℃热处理制备的ZnO薄膜样品具有较佳性能，结构均匀致密，粒径分布为20-32nm。在10V偏压和1．24×10^-3W／cm^2光强下，紫外光灵敏度为43．95；无光照条件下晶界势垒高度为0．079eV。紫外光照使晶界势垒高度下降为0．011eV，薄膜的紫外光灵敏度与势垒高

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