【摘 要】
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运用热蒸发ZnO粉末法,以金做催化剂,分别在Si（100）和Si（111）两种基片上外延生长了ZnO纳米棒（样品分别标为1#和2#）.通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分析,结合ZnO与Si的晶格结构
【机 构】
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西南石油大学理学院,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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运用热蒸发ZnO粉末法,以金做催化剂,分别在Si（100）和Si（111）两种基片上外延生长了ZnO纳米棒（样品分别标为1#和2#）.通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分析,结合ZnO与Si的晶格结构特征,从理论上得出了两个样品的晶格匹配关系.1^#样品：[0001]ZnO∥[114]Si,[0001]ZnO∥[1^-1^-4]Si,[0001]ZnO∥[11^-4]Si,[0001]ZnO∥[1^-14]Si,失配度为1.54%;2#样品：[0001]ZnO∥[111]Si,[21^-1
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