氢离子注入对La2/3 Sr1/3 MnO3薄膜性能影响的研究

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利用脉冲激光沉积(PLD),制备了La2/3 Sr1/3 MnO3(LSMO)薄膜.然后在120keV的能量下,进行了不同剂量(1.0×10^12ion/cm^2-1.0×10^17ion/cm^2)的H2^+离子对LSMO薄膜的注入研究。随着注入剂量的增加,膜的电阻逐渐变大,其L转变温度往低温方向变化。当剂量大于等于3.0×10^16ion/cm^2时,LSMO薄膜具有了类似半导体的导电行为。X射线衍射(XRD)分析发现:特征峰的位置随着剂量的增加而往低的角度偏移,并且当剂
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