光学玻璃精密磨削表层损伤的检测技术

来源 :浙江师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:illusions1018
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为实现光学玻璃高效低损伤的超精密磨削,须研究加工工艺对表层损伤的影响,发展不同工艺表层损伤的检测技术.在分析光学玻璃磨削损伤层特性的基础上,通过实验分析磨削参数对表层损伤的影响,研究工艺参数对表层损伤的影响规律;然后,采用纳米压入仪表征精磨加工损伤层的力学性能,基于纳米压入仪发展一种小尺度磨削损伤的检测技术.结果表明:表层损伤随砂轮转速的增大而减小,随砂轮进给速率和工件转速的增大而增大;其中工件进给速率对表层损伤的影响最大,其次是砂轮转速,工件转速的影响最小;针对精磨加工的表层损伤,基于纳米压入技术测得的
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