【摘 要】
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分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,提出了采用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术来制备大厚度高开孔率精细金属网板的工艺方法。实验优选了前烘、曝光、后烘、显影、微细
【机 构】
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南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目(50635040);中国博士后科学基金项目(20070421008)~~
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分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,提出了采用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术来制备大厚度高开孔率精细金属网板的工艺方法。实验优选了前烘、曝光、后烘、显影、微细电铸、去胶等关键操作环节的工艺参数,检测并分析了试样性能。结果表明,综合采用涂胶后静置;前烘65℃,20 min,95℃,20 min;曝光剂量260 mJ/cm2;后烘65℃,10 min,95℃,15 min;随炉冷却;超声辅助显影(超声功率25 W,频率33 kHz,时间5min);交变低压-温度梯度微细电铸等工艺条件,可制备出厚度(120±3)μm、开孔率88%的六边形网孔(边长200μm)精细镍板,网板孔形一致性好,孔壁平滑。
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