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2009年4月22日，德国便携式晶圆片级照相机零部件生产商Nemotek技术公司购买了SUSS的多项光刻设备。SUSS是三维集成、先进封装、MEMS、纳米技术等创新方案的设备供应商。此次订购包括200mm生产性光刻机、涂胶台、烘烤、显影设备。
Nemotek技术公司向SUSS订购多项光刻设备,用于图像传感器晶圆级封装
【摘 要】
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2009年4月22日，德国便携式晶圆片级照相机零部件生产商Nemotek技术公司购买了SUSS的多项光刻设备。SUSS是三维集成、先进封装、MEMS、纳米技术等创新方案的设备供应商。此次订
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2009年6期
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