【摘 要】
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为了对传感器设计与制造中的刻蚀过程进行研究，本文利用等离子体～硅表面交互作用的动力学机制和算法的优化，建立了一种时空归一化的等离子体刻蚀硅片二维模型，并利用该模型，从固定
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为了对传感器设计与制造中的刻蚀过程进行研究，本文利用等离子体～硅表面交互作用的动力学机制和算法的优化，建立了一种时空归一化的等离子体刻蚀硅片二维模型，并利用该模型，从固定结构尺寸的角度对等离子体刻蚀中的重要现象——Lag效应进行了揭示，证明在固定宽度结构的刻蚀中存在刻蚀速率随时间变小的现象。同时还对刻蚀算法中的时间步长选择问题进行了讨论，从数值计算的角度提出了最优时间步长的概念并加以验证。为工艺过程的数值模拟及实验提供参考和指导。
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