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介绍了溅射离子泵的工作原理及其对N2、O2、H2和惰性气体的排气机理,采用开槽阴极、增加一个离子收集极、泵内阴极做成蜂窝形对其结构加以改进,对高压电源、泵内真空度的估计、寿命、起动、清洗情况进行了说明,并给出了更换离子泵的注意事项及应用体会.
溅射离子泵在直线加速器上的应用体会
【摘 要】
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介绍了溅射离子泵的工作原理及其对N2、O2、H2和惰性气体的排气机理,采用开槽阴极、增加一个离子收集极、泵内阴极做成蜂窝形对其结构加以改进,对高压电源、泵内真空度的估计
【机 构】
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第三军医大学新桥医院肿瘤中心,第三军医大学新桥医院肿瘤中心
【出 处】
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中国设备管理
【发表日期】
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2001年3期
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