【摘 要】
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介绍了一种MEMS差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标.对MEMS Sensor选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了MEMS差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,
【机 构】
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威海双丰电子集团有限公司,大庆石油管理局物探公司
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介绍了一种MEMS差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标.对MEMS Sensor选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了MEMS差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等,同时介绍了该传感器各项指标的测试数据.该传感器具有灵敏度高、参数设计合理,不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移,结构合理,达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点.
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