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通过化学气相沉积(CVD)方法在Si(100)衬底上制备出新型的ZnO纳米钉结构。X射线衍射(XRD)结果表明纳米钉是六角纤锌矿结构。纳米钉顶部对角线在450-750nm之间,纳米钉长度为几个微米。研究了不同气氛下退火样品的可见发光性质,认为绿光发射来自于导带电子和反位氧中空穴的辐射复合。