Effects of heat treatment process on thin film alloy resistance and its stability

来源 :中南工业大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：myfarm

【摘要】

：

Alloy thin film for advanced pressure sensors was manufactured by means of ion-beam sputtering SiO2 insulation film and NiCr thin film on the 17-4PH stainless s

【作者】

：

ZHOU Ji-cheng(周继承) PENG Yin-qi

【机构】

：

InstituteforInformationMaterialsandComputationalScience

【出处】

：

中南工业大学学报：英文版

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

THIN film ALLOY RESISTANCE heat treatment STABILITY pressure SENSORS thin film a

【基金项目】

：

国家自然科学基金，教育部优秀青年教师资助计划

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Alloy thin film for advanced pressure sensors was manufactured by means of ion-beam sputtering SiO2 insulation film and NiCr thin film on the 17-4PH stainless steel elastic substrate. The thin film resistance was respectively heat-treated by four processe

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