【摘 要】
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采用连续离子层吸附反应（SILAR）法，分别用含有Se^2-，Bi^3＋和Sb^3＋的离子溶液作为独立的阴、阳离子前驱溶液，以载玻片为衬底，在室温下沉积出致密且具有镜面金属光泽的Bi2Se3-Sb2Se3薄
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采用连续离子层吸附反应（SILAR）法，分别用含有Se^2-，Bi^3＋和Sb^3＋的离子溶液作为独立的阴、阳离子前驱溶液，以载玻片为衬底，在室温下沉积出致密且具有镜面金属光泽的Bi2Se3-Sb2Se3薄膜材料。为了改善薄膜样品的结晶状态，对其进行了退火处理。用AFM观察了薄膜样品的表面形貌，用XRD分析了退火前后薄膜样品的结晶状态。结果表明：薄膜样品经200℃较低温度下退火处理4h以后，薄膜的结晶状态由无定形态转化为多晶态，其平均晶粒尺寸为30nm～40nm。
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