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介绍一种大功率直流溅射恒流电源的设计。该设计解决了溅射过程中的打火及电流不易控制的问题。经实用证明，该设计达到了预期的效果。
一种大功率直流溅射电源的设计
【摘 要】
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介绍一种大功率直流溅射恒流电源的设计。该设计解决了溅射过程中的打火及电流不易控制的问题。经实用证明，该设计达到了预期的效果。
【机 构】
：
昆明物理研究所
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
：
1996年6期
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