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为解决MEMS陀螺输出信号中噪声大、随机漂移严重的问题，提出了一种小波阈值去噪和函数系数自回归FAR建模结合的MEMS陀螺数据处理方法。采用小波阈值去噪法对MEMS陀螺输出信号去噪，提高其信噪比；为克服常用的自回归AR模型无法解决MEMS陀螺随机漂移存在的非线性问题，引入FAR模型对MEMS陀螺的随机漂移进行建模。实验结果表明，此数据处理方法可有效抑制MEMS陀螺输出噪声，且与AR模型相比，FAR模型能更精确地对MEMS陀螺随机漂移进行建模及预测。