【摘 要】
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以In Cl3、Sn Cl4和尿素为主要原料,采用前驱体热解法制备ITO粉体,探讨了匀速滴加和一次性加入沉淀剂两种添加方式对ITO粉体性能的影响。结果表明,往混合盐溶液中匀速滴加尿
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以In Cl3、Sn Cl4和尿素为主要原料,采用前驱体热解法制备ITO粉体,探讨了匀速滴加和一次性加入沉淀剂两种添加方式对ITO粉体性能的影响。结果表明,往混合盐溶液中匀速滴加尿素溶液可制备针状、粒径分布窄、700℃煅烧后具有显著单相结构的ITO细粉,一次性加入尿素溶液时制备的粉体团聚现象严重,粒径大,分布宽,且相变温度较高。随煅烧温度的提高和烧结时间的延长,ITO靶材的相对密度均呈先上升后下降的趋势,匀速滴加尿素溶液制备的粉体在1500℃下恒温2h后靶材的相对密度高达99.65,一次性加入尿素溶液时制
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