烧结工艺对纳米SrTiO3陶瓷介电性能的影响

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采用 sol-gel 方法制备 SrTiO3陶瓷粉体,利用 TG-DTA 分析 SrTiO3干凝胶粉的分解、化合反应,初步确定了SrTiO3陶瓷预烧和烧结温度,采用 SEM 研究了 SrTiO3陶瓷的内部结构,重点探讨了不同烧结制度对 SrTiO3陶瓷介电性能的影响。研究表明,当采用在空气气氛下以 5 ℃/min 的升温速率直接升温至 1 000℃,保温 0.5 h,再降温至 750℃保温 0.5 h 后随炉冷却的烧结工艺,SrTiO3陶瓷纯度高,致密性好,晶粒粒径小于 100 nm,且具有良好的介电性能,低频下相对介电常数高达 3 000 左右。
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