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采用等离子体增强化学气相沉积法制备了具有纳米结构的碳化钨薄膜，采用XRD、EDS、SEM方法表征了薄膜的表面形貌、化学组成和物相结构．这种碳化钨纳米晶薄膜具有巨大的电化学比表面积、很好的电催化活性和电化学稳定性．通过测试和计算表明，几何面积为1cm^2碳化钨薄膜／泡沫镍电极、碳化钨薄膜／镍电极的电化学比表面积分别为83．21和64．13cm^2；该薄膜电极材料的α值为0．422-0．452V，接近低超电势材料；析氢交换电流密度为4．02-4．22×10^-4A／cm^2；当超电势为263mV时，