粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析

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本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发,对呈周期性变化的细分误差作了详细的理论分析,并得到了实验的验证。同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法,为进一步研制高精度数显系统打下了基础。
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