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粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析
粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析
来源 :现代计量测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Eltonxin
【摘 要】
:
本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发,对呈周期性变化的细分误差作了详细的理论分析,并得到了实验的验证。同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法,为进一步研制高精
【作 者】
:
林鹏
陈小强
【机 构】
:
重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室
【出 处】
:
现代计量测试
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
粗光栅
位移测量系统
细分误差
光学计量仪器
Coarse Grating
Subdivision Error
Analysis and Elimination
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本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发,对呈周期性变化的细分误差作了详细的理论分析,并得到了实验的验证。同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法,为进一步研制高精度数显系统打下了基础。
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