一种差分式电容传感器读出电路及其前置放大器的设计

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rsbgrc

【摘要】

：

采用基于开关电容技术的CMOS电路,实现差分式电容微传感器的信号读出;阐述了这种电路结构的工作原理;分析了噪声特性,并提出了减小噪声的措施.分析了各晶体管尺寸对热噪声和1

【作者】

：

吕志军倪学文莫邦燹项斌

【机构】

：

北京大学

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

电容式微传感器 CMOS电路过采样前置放大器差分式读出电路工作原理噪声特性 Capacitive microsensor CMOS circuit

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采用基于开关电容技术的CMOS电路,实现差分式电容微传感器的信号读出;阐述了这种电路结构的工作原理;分析了噪声特性,并提出了减小噪声的措施.分析了各晶体管尺寸对热噪声和1/f噪声的影响,并在设计时进行了折衷.采用3 μm N阱CMOS工艺参数对前置放大器进行了HSPICE仿真:放大器具有68 nV/Hz 的输入噪声、84 dB的开环增益、130 dB的共模增益等优良的交、直流特性;电路还可以达到1 fF的输入分辨率.

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