激光法气相合成纳米Si/C/N复相粉体

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用大功率5kWCO2激光器为能源,以六甲基二硅胺烷「(CH3)3Si」2NH(简称HMDS)和NH3为原料,合成纳米非晶Si/C/N复相偻体。研究了HMDS流量和N3对纳米复相粉体组成的影响。NH3的加入可以大幅度降低纳米复相粉体的碳含量,提高氮含量。Si/C/N纳米复相粉体的粒径分布范围为10-50nm,为非晶态。
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