开拓超高真空的世界(二)——支撑高技术的基础

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三、最惊人的发展—利用真空的镀膜工业真空镀膜的方法这里将要介绍真空蒸发、离子镀膜、溅射和化学气相沉积等种镀膜方法。对于这些专业性词汇,不少读者可能还不熟悉!本书将在本章和下一章简要介绍真空蒸发;在第五章、第六章和第九章中将分别介绍离子镀膜、溅射镀膜和真空中的化学气相沉积。请列这些专业性词汇尚不熟悉的读者暂时忍耐一下。需要说明的是这四种镀膜方法的工作原理是相互渗透的。如果按其作用进行划分,可以 Third, the most amazing development - the use of vacuum coating Industrial vacuum coating method Here will introduce vacuum evaporation, ion plating, sputtering and chemical vapor deposition and other kinds of coating methods. Many readers may not be familiar with these professional terms! This book will briefly introduce vacuum evaporation in this chapter and in the next chapter. In chapter 5, chapter 6 and chapter 9, we will introduce ion plating, sputter coating And chemical vapor deposition in vacuum. Please put these professional vocabulary is not yet familiar readers temporarily patience. It should be noted that these four coating methods work principle is mutual penetration. If you divide by their role, you can
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