【摘 要】
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基于电路二端口网络理论，建立了过孔电学特性等效电路模型，给出了模型参数的提取过程。在分析比较物理模型和经验模型两种不同的模型参数提取方法及其优缺点的基础上，给出了过孔
【机 构】
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南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室
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基于电路二端口网络理论，建立了过孔电学特性等效电路模型，给出了模型参数的提取过程。在分析比较物理模型和经验模型两种不同的模型参数提取方法及其优缺点的基础上，给出了过孔高频特性的经验模型及其模型参数。为验证经验模型的有效性，提出了基于仿真的快速验证方法。实验结果表明，该方法避免了实物测试验证所带来的测试误差，同时为降低建模成本提供了新思路。
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