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分析了静电马达的工作原理及静电力在微领域中的优势;综述了静电马达的发展历程及国内外研究现状,并对其应用前景进行了评析和展望。
静电马达发展综述
【摘 要】
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分析了静电马达的工作原理及静电力在微领域中的优势;综述了静电马达的发展历程及国内外研究现状,并对其应用前景进行了评析和展望。
【机 构】
：
哈尔滨工业大学
【出 处】
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微电机
【发表日期】
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2009年5期
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