【摘 要】
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微细球状电极在精微加工、测量领域有很大的应用空间,为制备低成本、高精度微细球状电极,提出新的制备工艺,在微细电解加工机床上运用微细电化学刻蚀（Micro electro-chemical
【机 构】
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南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
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微细球状电极在精微加工、测量领域有很大的应用空间,为制备低成本、高精度微细球状电极,提出新的制备工艺,在微细电解加工机床上运用微细电化学刻蚀（Micro electro-chemical machining,micro-ECM）—单脉冲放电加工（One pulse electro discharge,OPEG）组合技术制备微细球状电极,即先利用电化学刻蚀技术制备出微细圆柱状电极,然后利用单脉冲放电加工技术制备出前端的微球头。通过电极制备试验,研究各主要加工参数,如加工极性、加工电压、放电持续时间及峰值电流
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