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金属纳米晶具有态密度高、费米能级选择范围广以及无多维载流子限制效应等优越性，预示着金属纳米晶快闪存储器在下一代闪存器件中具有很好的应用前景。从金属纳米晶存储器的工作原理、纳米晶的制备方法、以及新型介质材料和电荷俘获层结构等方面，对金属纳米晶存储器近年来的研究进展进行了总结。
金属纳米晶快闪存储器研究进展
【摘 要】
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金属纳米晶具有态密度高、费米能级选择范围广以及无多维载流子限制效应等优越性，预示着金属纳米晶快闪存储器在下一代闪存器件中具有很好的应用前景。从金属纳米晶存储器的工
【机 构】
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专用集成电路与系统国家重点实验室
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2007年3期
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