【摘 要】
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目的以MgF2和ZnS为单组分制备MgF2/ZnS复合薄膜,研究复合薄膜的光学性能,以获取任意折射率薄膜材料,并优化高损伤阈值激光薄膜的制备工艺。方法基于光电极值膜厚监控原理,采
【机 构】
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西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
【基金项目】
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陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(2016KW-036);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(16JS037);陕西省科技厅自然科学基础研究计划(2016JZ025);科技部国际合作资助项目(2013DFR70620)~~
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目的以MgF2和ZnS为单组分制备MgF2/ZnS复合薄膜,研究复合薄膜的光学性能,以获取任意折射率薄膜材料,并优化高损伤阈值激光薄膜的制备工艺。方法基于光电极值膜厚监控原理,采用电子束热蒸发和电阻热蒸发技术制备了复合薄膜,测量了复合薄膜的折射率、消光系数和透射率光谱,并对其激光损伤特性进行了研究。结果在所研究的工艺参数范围内,当MgF2和ZnS的沉积速率比为5∶1、4∶1、2∶1、1∶1和0.5∶1时,所制备复合薄膜的折射率分别为1.4227、1.4932、1.6318、1.9044和2.0762(波长
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