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采用模板法研制了有序介孔SiO2膜，探讨了其性能表征。在研究中采用了正硅酸乙酯（TEOS）与十六烷基三甲基氯化铵（CTAC），在致密基底上，研制了有序介孔SiO2膜，观察了CTAC/TEOS摩尔比对SiO2膜孔径及其介孔有序性的影响，实验结果证实，有序介孔SiO2膜的孔径在2～3nm，呈单一分布，孔体积随着CTAC/TEOS摩尔比增加而增大，CTAC/TEOS摩尔比为0.35时，SiO2膜的渗透率最大。