脉冲电弧团簇离子源电源设计

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根据对两电极放电现象的研究以及国外的电源设计理念,设计并制作出复合式脉冲电源,对脉冲电弧团簇离子源(PACIS)内的两电极棒施加复合式脉冲电压使两电极棒放电,用以制备稳定的金属蒸汽,得到了良好的实验结果.
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