【摘 要】
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防静电工作区（EPA）的静电电位是评价防静电工作区防静电能力的重要指标,在采用静电电压测试仪EFM-022测量EPA静电电位的前提下,提出了EPA静电电位测量不确定度评定的通用方法。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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防静电工作区（EPA）的静电电位是评价防静电工作区防静电能力的重要指标,在采用静电电压测试仪EFM-022测量EPA静电电位的前提下,提出了EPA静电电位测量不确定度评定的通用方法。对静电电位的测量原理进行了分析,建立了测量结果的导出数学模型,并确定了两类测量不确定度来源;进行了EPA静电电位的测量不确定度评定;最终,在EPA静电电位测量值的范围较宽的情况下,推导出了通用的不确定度计算公式,从理论上保证了EPA静电电位测量的准确性。
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