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本文研究一种用ZrO<sub>2</sub>,SiO<sub>2</sub>,Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>和P<sub>2</sub>O<sub>5</sub>为原料的半导陶瓷湿度传感器.它的组分是用扫描电子显微镜,X射线衍射仪和X射线能谱仪进行分析.多元氧化物粉末在高温下烧结成由许多微小晶粒组成的多孔半导陶瓷.晶粒周围环绕着Nb<