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本文讨论了keV和低于keV的电子在固体中散射的一般理论及MonteCarlo模拟计算方法,介绍了在电子显微学、电子束曝光等重要研究领域的一些应用实例。
keV和低于keV的电子在固体中散射理论,计算方法及有关应用
【摘 要】
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本文讨论了keV和低于keV的电子在固体中散射的一般理论及MonteCarlo模拟计算方法,介绍了在电子显微学、电子束曝光等重要研究领域的一些应用实例。
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,上海宝山钢铁总厂研究室
【出 处】
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计算物理
【发表日期】
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1989年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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