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本文主要介绍TAW-3硅片自动清洗装置的设计，着重介绍该设备在机械设计与制造过程中的主要技术难点和解决方法，以及该设备投入使用后所取得的经济效益和社会效益。
TAW—3硅片自动清洗装置的设计
【摘 要】
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本文主要介绍TAW-3硅片自动清洗装置的设计，着重介绍该设备在机械设计与制造过程中的主要技术难点和解决方法，以及该设备投入使用后所取得的经济效益和社会效益。
【机 构】
：
无锡华晶电子设备制造有限公司
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
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2001年2期
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