真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能

来源 :实验力学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ksxy008

【摘要】

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采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在9Cr18和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.2μm的类金刚石(DLC)膜.为了检测成膜质量,分别使用纳米压痕和纳米划痕技术表征钢基材和DLC/基材的机械性

【作者】

：

张泰华郇勇王秀兰

【机构】

：

中国科学院力学研究所,航天材料及工艺研究所

【出处】

：

实验力学

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

真空磁过滤电弧离子镀 DLC膜纳米压痕纳米划痕固体润滑 vacuum magnetic-filtering arc plasma deposition

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采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在9Cr18和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.2μm的类金刚石(DLC)膜.为了检测成膜质量,分别使用纳米压痕和纳米划痕技术表征钢基材和DLC/基材的机械性能.对这种亚微米厚的膜,纳米压痕技术和纳米划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息.同DLC/40CrNiMo相比,DLC/9Cr18的硬度高和固体润滑效果显著,9Cr18是较为理想的基体材料.

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