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采用常规的ＩＣ工艺技术在硅片上制作了一种薄型探卡，并验证了它的功能。此卡可以用矩阵的形式提供极多的探针数（大于１０００个），此针永久地固定在透明的柔性薄片Ｘ—Ｙ平面内。有源测试电路置于距做有探卡针圆片非常近的位置。这种小型探卡大大减少了某些寄生现象，尤其是测试感应。
矩阵探卡
【摘 要】
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采用常规的ＩＣ工艺技术在硅片上制作了一种薄型探卡，并验证了它的功能。此卡可以用矩阵的形式提供极多的探针数（大于１０００个），此针永久地固定在透明的柔性薄片Ｘ—Ｙ平面内。有源测试电路置于
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1994年4期
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