【摘 要】
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一、引言为美国应用材料公司技术资料,由华晶公司MOS事业部提供译稿。石松审校?BPSG(硼磷硅玻璃)膜作为多晶硅化物栅连线与第一金属层之间的介质绝缘层,在半导体工业中已得到广泛
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一、引言为美国应用材料公司技术资料,由华晶公司MOS事业部提供译稿。石松审校?BPSG(硼磷硅玻璃)膜作为多晶硅化物栅连线与第一金属层之间的介质绝缘层,在半导体工业中已得到广泛的应用。另外,由于BPSG膜具有熔融流特性,在制作第一层金属层前,使多晶硅化物平坦化,还可
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