水环式真空泵在直拉单晶炉上的应用

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：eworld5008

【摘要】

：

分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的整体性能.

【作者】

：

【机构】

：

浙江大学机械厂

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的整体性能.

其他文献

小儿高原肺水肿(high altitude pulmonary edema,HAPE)是高原地区特有的、危及生命的急重病症之一.由于小儿本身的生理特点,小儿HAPE在临床表现及治疗上与成人HAPE有所不同,

期刊

儿童高原肺水肿治疗